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TDW268-全自动晶圆贴膜撕膜一体机
全自动贴膜撕膜 单独贴膜或撕膜 同步贴膜撕膜 配置双臂晶圆机械手 贝努利晶圆搬运技术 晶圆智能料篮内测绘 非接触晶圆校正 蓝膜、紫外线胶膜可选 工控机+Windows系统 SECS/GEM 或简易联网能力 |
全自动贴膜撕膜 单独贴膜或撕膜 同步贴膜撕膜 配置双臂晶圆机械手 贝努利晶圆搬运技术 晶圆智能料篮内测绘 非接触晶圆校正 蓝膜、紫外线胶膜可选 工控机+Windows系统 SECS/GEM 或简易联网能力 |