技美科技-产品展示-半导体技术-SWS320-全自动晶圆检查机/分选机/倒片机

产品展示

SWS320-全自动晶圆检查机/分选机/倒片机

8”-12”晶圆适用
可处理薄晶圆
可选晶圆料篮、料盒等方式装卸料
晶圆分选功能
晶圆倒片功能
视觉检查功能
显微镜检查功能
平台模块化设计
工控机+Windows系统
SECS/GEM 或简易联网能力