1. 晶圓搬運機械手2. 晶圓預對準系統3. 晶圓裝卸料塢（Loadport）.....

1. 晶圓切割貼膜機2. 晶圓裂擴片倒膜一體機.....

1. 晶圓臨時鍵合解鍵合機2. 晶圓减薄貼撕膜機3. 晶圓减薄拋光一體機 4. 晶圓光刻貼膜機5. 晶圓級覆膜機6. 晶圓保護貼膜機.....

1. 晶圓表面檢查機2. 晶圓分選機3. 晶圓倒片裝拆包機.....